Zinc-tin alloy sputtering target

C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C

Patent

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Details

C23C 14/34 (2006.01) C03C 17/245 (2006.01) C03C 17/36 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01)

Patent

CA 2328910

Tin is added to a zinc cathode target to enhance the sputter efficiency of the target. Films deposited using the cathode, e.g., greater than zero but less than 10 weight percent tin and greater than 90 but less than 100 weight percent zinc improve the chemical durability of a high transmittance, low emissivity coating stack over coating stacks having zinc oxides without tin oxide. High transmittance, low emissivity coating stacks are heated with the heated coating having reduced haze by selecting the thickness of metal primer layer between an infrared reflective film, e.g. a silver film and a dielectric film, e.g., a 52-48 zinc stannate, zinc oxide, tin oxide film or a zinc oxide film. Also disclosed are enhancing films that lower the resistivity of silver films deposited thereon and improve chemical durability of the coating stack.

On ajoute de l'étain à une cible constituée d'une cathode en zinc pour améliorer le rendement de la pulvérisation de ladite cible. Les films déposés au moyen de cette cathode, renfermant par exemple plus de 0 mais moins de 10 % en poids d'étain et plus de 90 mais moins de 100 % en poids de zinc, améliorent la résistance aux agents chimiques d'une superposition de revêtements à forte transmittance et faible émissivité par rapport aux superpositions de revêtements renfermant des oxydes de zinc mais pas d'oxyde d'étain. On chauffe les superpositions de revêtements à forte transmittance et faible émissivité, de façon à obtenir un revêtement chauffé présentant un trouble réduit, en choisissant l'épaisseur de la couche d'apprêt primaire entre un film réfléchissant l'infrarouge, par exemple un film d'argent, et un film diélectrique, par exemple un stannate de zinc 52-48, un oxyde de zinc, un film d'oxyde d'étain ou un film d'oxyde de zinc. L'invention concerne également des films améliorateurs, qui diminuent la résistivité des films d'argent déposés sur lesdits films et améliorent la résistance aux agents chimiques de la superposition de revêtements.

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