G - Physics – 01 – Q
Patent
G - Physics
01
Q
G01Q 60/18 (2010.01) G03F 7/20 (2006.01) H01L 21/77 (2006.01)
Patent
CA 2065263
2065263 9103757 PCTABS00104 La présente invention concerne un procédé de microscopie en champ proche en réflexion, du type à balayage d'une surface par une sonde optique, telle que particulièrement un guide d'ondes (6) dans lequel on injecte une onde électromagnétique avantageusement cohérente, par exemple issue d'un laser (2), procédé caractérisé en ce qu'on approche l'extrémité de ce guide d'ondes (8, 18) a une distance de la surface à étudier (12) telle que le coefficient de couplage entre le mode propre de propagation dudit guide d'ondes (8, 18) et le mode de propagation du champ électrique de l'onde réfléchie par ladite surface (12) et guidée en retour par ce même guide d'ondes (8, 18) présente un accroissement sensiblement exponentiel au fur et à mesure que ladite extrémité s'approche de cette même surface (12). Le domaine de l'invention est plus particulièrement celui de la microscopie à balayage, par des moyens purement optiques, et avec des résolutions nanométriques. On peut également destiner l'invention au contrôle optique de la distance entre une surface donnée et un instrument à déplacer au-dessus de cette surface, et notamment tout instrument du type servant à la microlithographie des circuits intégrés.
Cerre Nathalie
de Fornel Frederique
Goudonnet Jean-Pierre
Goudreau Gage Dubuc
Spiral Recherche Et Developpement
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1384278