Sensor design and process

Details Sensor design and process Sensor design and process

G - Physics

01

P

G01P 15/02 (2006.01) G01V 1/18 (2006.01)

Patent

CA 2366320

An accelerometer (305) for measuring seismic data. The accelerometer (305) includes an integrated vent hole for use during a vacuum sealing process and a balanced metal pattern for reducing cap wafer bowing. The accelerometer (305) also includes a top cap press frame recess (405) and a bottom cap press frame recess (420) for isolating bonding pressures to specified regions of the accelerometer (305). The accelerometer (305) is vacuum-sealed and includes a balanced metal pattern (730) to prevent degradation of the performance of the accelerometer (305). A dicing process is performed on the accelerometer (305) to isolate the electrical leads of the accelerometer (305). The accelerometer (305) further includes overshock protection bumpers (720) and patterned metal electrodes to reduce stiction during the operation of the accelerometer (305).

La présente invention concerne un accéléromètre (305) pour la mesure de données sismiques. L'accéléromètre (305) comprend un évent à être mis un oeuvre au cours d'un procédé d'étanchéification sous vide et un motif métallique homogène en vue de réduire la déformation du capuchon de la tranche. L'accéléromètre (305) comprend, en outre, un évidement (405) de cadre de support de la coiffe supérieure et un évidement (420) de cadre de support de la coiffe inférieure en vue d'isoler les pressions de collage à des régions déterminées de l'accéléromètre (305). L'accéléromètre est étanche sous vide et comporte un motif métallique (730) homogène pour empêcher la diminution de la performance de l'accéléromètre (305). On effectue un quadrillage de l'accéléromètre (305) en vue d'isoler les fils électriques de l'accéléromètre (305). L'accéléromètre comprend (305) également des amortisseurs (720) de protection contre des chocs excessifs et des électrode métalliques présentant une configuration permettant de réduire le blocage par adhérence au cours du fonctionnement de l'accéléromètre (305).

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