Mems actuators

Details Mems actuators Mems actuators

B - Operations, Transporting

81

B

B81B 3/00 (2006.01) F03G 7/06 (2006.01) H01H 61/04 (2006.01)

Patent

CA 2523446

The MEMS cantilever actuator (10) is designed to be mounted on a substrate (12). The actuator (10) comprises an elongated hot arm member (20) having two spaced-apart portions (22), each provided at one end with a corresponding anchor pad (24) connected to the substrate (12). The portions (22) are connected together at a common end (26) that is opposite the anchor pads (24). It further comprises an elongated cold arm member (30) adjacent to and substantially parallel of the hot arm member (20), the cold arm member (30) having at one end an anchor pad (32) connected to the substrate (12), and a free end (34) that is opposite the anchor pad (32) thereof. A dielectric tether (40) is attached over the common end (26) of the portions (22) of the hot arm member (20) and the free end (34) of the cold arm member (30). This actuator (10) allows improving the performance, reliability and manufacturability of MEMS switches (100).

L'invention concerne un actionneur en porte-à-faux à système électromécanique (MEMS) (10) destiné à être monté sur un substrat (12). Cet actionneur (10) comprend un élément bras chaud allongé (20) ayant deux parties espacées (22), chaque partie étant pourvue, à une extrémité, d'une plaquette d'ancrage (24) correspondante reliée au substrat (12). Les parties (22) sont interconnectées à une extrémité commune (26) qui est opposée aux plaquettes d'ancrage (24). L'actionneur comprend également un élément bras froid allongé (30) adjacent et sensiblement parallèle à l'élément bras chaud (20). L'élément bras froid (30) a, à une extrémité, une plaquette d'ancrage (32) reliée au substrat (12) et une extrémité libre (34) qui est opposée à la plaquette d'ancrage (32). Un élément d'attache diélectrique (40) est fixé en reliant l'extrémité commune (26) des parties (22) de l'élément bras chaud (20) et l'extrémité libre (34) de l'élément bras froid (30). L'actionneur (10) permet d'améliorer les performances, la fiabilité et la fabricabilité d'interrupteurs MEMS (100).

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