Micro-electro-mechanical transducers

Details Micro-electro-mechanical transducers Micro-electro-mechanical transducers

B - Operations, Transporting

81

B

B81B 7/02 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) B81B 5/00 (2006.01) H04R 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2607916

A micro-electro-mechanical transducer (such as a cMUT) is disclosed. The transducer has a substrate, a top plate, and a resilient structure therebetween. The resilient structure has multiple connectors distributed over the device element area to vertically transport the top player with distributed support. The resilient structure may be cantilevers formed using a middle spring layer covering cavities on the substrate. Connectors define a transducing space below the top plate. The resilient structure enables a vertical displacement of the connectors, which transports the top plate in a piston-like motion to change the transducing space and to effectuate energy transformation. No separate cells are necessary for each addressable transducer element. Multiple device elements can be made on the same substrate.

L'invention concerne un transducteur mécanique microélectrique (tel qu'un cMUT), qui comprend un substrat, une plaque supérieure et, entre les deux, une structure élastique. La structure élastique comprend plusieurs connecteurs répartis sur la zone des éléments du dispositif de façon à transporter verticalement la plaque supérieure présentant un support réparti. La structure élastique peut être constituée de porte-à-faux formés par l'utilisation d'une couche ressort médiane recouvrant des cavités ménagées sur le substrat. Des connecteurs délimitent un espace de transduction sous la plaque supérieure. La structure élastique autorise un déplacement vertical des connecteurs qui transportent la plaque supérieure dans un mouvement piston destiné à modifier l'espace de transduction et à effectuer une transformation d'énergie. Aucune cellule séparée n'est nécessaire pour les éléments de transducteur adressables. Plusieurs éléments du dispositif peuvent être réalisés sur le même substrat.

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