C - Chemistry – Metallurgy – 23 – C
Patent
C - Chemistry, Metallurgy
23
C
C23C 14/40 (2006.01) C23C 14/22 (2006.01) H01J 37/34 (2006.01)
Patent
CA 2174507
A method and apparatus for generation of a discharge in own vapors of a radio frequency electrode for sustained self-sputtering and evaporation comprising the steps of: (a) generation of a radio frequency discharge by a radio frequency electrode of a hollow geometry in an auxiliary gas introduced into the discharge area at a pressure necessary for an initiation of a hollow cathode discharge inside the hollow electrode causing sputtering and/or evaporation of the electrode surface; (b) increasing the radio frequency power to said hollow electrode to enhance density of vapors containing particles released from the electrode by the sputtering and/or evaporation in the radio frequency generated hollow cathode discharge up to a density at which a self-sustained discharge remains after the inflow of said auxiliary gas is closed and the pumping of gas is adjusted to a value necessary for the maintenance of the discharge. The hollow radio frequency electrode may serve as an inlet of said auxiliary gas.
Procédé et appareil de production d'une décharge dans les vapeurs d'une électrode radiofréquence de manière à obtenir une auto-pulvérisation cathodique et une évaporation entretenues de l'électrode. Le procédé consiste (a) à produire une décharge radiofréquence au moyen d'une électrode radiofréquence creuse dans un gaz auxiliaire introduit dans la zone de décharge sous la pression nécessaire à la production d'une décharge de cathode creuse à l'intérieur de l'électrode creuse, dans le but de provoquer la pulvérisation cathodique et/ou l'évaporation de la surface de l'électrode; et (b) à augmenter l'énergie radiofréquence alimentant ladite électrode creuse afin d'augmenter la densité des vapeurs renfermant les particules libérées par la pulvérisation cathodique et/ou l'évaporation de l'électrode dans la décharge de cathode creuse produite par radiofréquences, et ce jusqu'à obtention d'une densité à laquelle une décharge auto-entretenue se poursuit après la fermeture de l'arrivée dudit gaz auxiliaire et le réglage de l'introduction par pompage de gaz de sorte qu'elle ait la valeur nécessaire pour entretenir la décharge. L'électrode radiofréquence creuse peut servir de passage d'amenée dudit gaz auxiliaire.
Barankova Hana
Bardos Ladislav
Berg Soren
Cassan Maclean
Savcor Coatings Oy
Surfcoat Oy
LandOfFree
A method and an apparatus for generation of a discharge in... does not yet have a rating. At this time, there are no reviews or comments for this patent.
If you have personal experience with A method and an apparatus for generation of a discharge in..., we encourage you to share that experience with our LandOfFree.com community. Your opinion is very important and A method and an apparatus for generation of a discharge in... will most certainly appreciate the feedback.
Profile ID: LFCA-PAI-O-1613585