Actuator element

Details Actuator element Actuator element

B - Operations, Transporting

81

B

B81B 3/00 (2006.01) B41J 2/045 (2006.01) B41J 2/05 (2006.01) B41J 2/14 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01)

Patent

CA 2370950

An actuator element for a micro electromechanical device comprises a movable arm formed at least in part from a titanium-aluminium nitride composition. This composition has a relatively high oxidation temperature, thus allowing a high temperature to be generated in the actuator element over a short period of time. In one embodiment, the actuator element forms part of a thermal bend actuator in an ink jet device.

L'invention concerne un élément d'actionnement pour un dispositif microélectromécanique. Ledit élément comprend un bras mobile constitué au moins en partie par une composition de nitrure aluminium-titane. Cette composition présente une température d'oxydation relativement élevée, ce qui permet de générer une température élevée dans l'élément d'actionnement pendant une courte durée. Dans un mode de réalisation, l'élément d'actionnement fait partie d'un actionneur à flexion thermique dans un dispositif de jet d'encre.

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