B - Operations – Transporting – 81 – B
Patent
B - Operations, Transporting
81
B
B81B 3/00 (2006.01) H01H 59/00 (2006.01)
Patent
CA 2705130
Improved actuation device useful in direct-write nanolithography and imaging including use of a pivot point for downward deflection of a cantilever with long travel path. A device comprising at least one holder, at least one cantilever, an ex-tension of the said cantilever wherein the extension is integrated with an actuator, wherein the cantilever is adapted for actuated movement. The actuator can be electrostatic, thermal, or piezoelectric. The cantilever can comprise a tip, and material can be trans-ferred from the tip to a surface.
Un dispositif d'actionnement amélioré, utile en nanolithographie et imagerie à gravure directe, comprend l'utilisation d'un point de pivotement pour la déflexion vers le bas d'un cantilever avec un long chemin de déplacement. Un dispositif comprend au moins un support, au moins un cantilever, une extension dudit cantilever, l'extension étant intégrée à un actionneur, le cantilever étant adapté à un mouvement actionné. L'actionneur peut être électrostatique, thermique ou piézoélectrique. Le cantilever peut comprendre un embout, et de la matière peut être transférée depuis l'embout jusqu'à une surface.
Bereskin & Parr Llp/s.e.n.c.r.l.,s.r.l.
Nanoink Inc.
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1365046