Direct acting vertical thermal actuator

Details Direct acting vertical thermal actuator Direct acting vertical thermal actuator

H - Electricity

01

H

H01H 61/04 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) G02B 6/35 (2006.01) H01H 1/00 (2006.01)

Patent

CA 2422007

A micrometer sized, single-stage, vertical thermal actuator capable of repeatable and rapid movement of a micrometer-sized optical device off the surface of a substrate. The vertical thermal actuator is constructed on a surface of a substrate. At least one hot arm has a first end anchored to the surface and a free end located above the surface. A cold arm has a first end anchored to the surface and a free end. The cold arm is located above the hot arm relative to the surface. A member mechanically and electrically couples the free ends of the hot and cold arms such that the member moves away from the substrate when current is applied to at least the hot arm. The hot arm can optionally include a grounding tab to minimize thermal expansion of the cold arm.

L'invention concerne un actionneur thermique vertical de taille micrométrique, à un étage, pouvant engendrer un mouvement répété et rapide d'un dispositif optique, de taille micrométrique, par rapport à la surface d'un substrat. Cet actionneur thermique vertical est construit sur une surface d'un substrat. Au moins un bras chaud présente une première extrémité fixée à la surface et une extrémité libre située au-dessus de la surface. Un bras froid présente une première extrémité fixée à la surface et une extrémité libre. Le bras froid est situé au-dessus du bras chaud par rapport à la surface. Un élément couple mécaniquement et électriquement les extrémités libres des bras chaud et froid de telle sorte que cet élément s'écarte du substrat lorsqu'un courant est appliqué au moins au bras chaud. Le bras chaud peut comporter optionnellement une patte de mise à la masse destinée à minimiser la dilatation thermique du bras froid.

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