H - Electricity – 01 – G
Patent
H - Electricity
01
G
H01G 4/06 (2006.01) H01G 4/10 (2006.01) H01G 4/20 (2006.01) H01G 7/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/285 (2006.01)
Patent
CA 2241685
A ferroelectric capacitor structure and its method of making in which a ferroelectric stack of two metal-oxide electrodes (46, 52) sandwiching a ferroelectric layer (50) is fabricated on a silicon substrate (40) with an intervening barrier layer, preferably of TiN (42). In one embodiment, a platinum layer (44) is grown between the TiN and the lower metal-oxide electrode at a sufficiently high temperature that provides crystallographically ordered growth of the ferroelectric stack. In another embodiment, the platinum layer was completely eliminated with the lower electrode (46) being grown directly on the TiN (42). Although the conventional conductive metal-oxide used in the electrode is lanthanum strontium cobalt oxide (LSCO), lanthanum nickel oxide provides good electrical and lifetime characteristics in a ferroelectric cell. Alternatively, the electrodes can be formed of the rock-salt metal oxides, such as neodymium oxide (NdO).
Structure de condensateur ferroélectrique et son procédé de fabrication selon lequel un bloc ferroélectrique de deux électrodes d'oxyde métallique (46, 52) renfermant en sandwich une couche ferroélectrique (50) est formé sur un substrat de silicium (40) pourvu d'une couche barrière intercalée, de préférence une couche de TiN (42). Selon une réalisation, une couche de platine (44) est développée entre la couche de TiN et l'électrode d'oxyde métallique inférieure, à une température suffisamment élevée qui provoque la croissance ordonnée de manière cristallographique du bloc ferroélectrique. Selon une autre réalisation, la couche de platine a été totalement éliminée, l'électrode inférieure (46) étant développée directement sur la couche de TiN (42). Bien que l'oxyde métallique conducteur conventionnel, utilisé dans l'électrode, soit l'oxyde de cobalt-strontium-lanthane (LSCO), l'oxyde de nickel-lanthane assure de bonnes caractéristiques électriques et une longue durée de vie dans une cellule ferroélectrique. Selon une autre variante, les électrodes peuvent être formées d'oxydes métalliques de sel gemme tels que l'oxyde de néodyme (NdO).
Dhote Anil M.
Ramesh Ramamoorthy
Bell Communications Research Inc.
Kirby Eades Gale Baker
Telcordia Technologies Inc.
University Of Maryland
LandOfFree
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