G - Physics – 03 – F
Patent
G - Physics
03
F
G03F 7/20 (2006.01) G03F 7/22 (2006.01) H01L 21/62 (2006.01) H01L 21/782 (2006.01) H01L 29/00 (2006.01) H01L 29/40 (2006.01)
Patent
CA 2544854
Terminating the ends of passive electronic components entails applying a laser- ablative coating (70) to each of the opposed major surfaces (14 and 16; 36 and 38) of a substrate (10 and 34). A UV laser beam having a spot size and an energy distribution sufficient to remove the laser-ablative coating from multiple selected regions of the major surfaces is directed for incidence on the substrate. Relative motion between the UV laser beam and substrate effects removal of sufficient amounts of laser-ablative coating to expose the multiple selected regions of the opposed major surfaces. The substrate is then broken into multiple rowbars (48 and 50), each of which includes side margins (60 and 62) along which are positioned different spatially aligned pairs of the selected regions of the opposed major surfaces. An electrically conductive material is applied to the side margins to form electrically conductive interconnects (56 and 58) between each spatially aligned pair of the selected regions.
La terminaison des extrémités de composants électroniques passifs comprend l'application d'un revêtement d'ablation par laser (70) à chacune des faces principales opposées (14 et 16 ; 36 et 38) d'un substrat (10 et 34). Un faisceau laser ultraviolet ayant une dimension de tache et une distribution d'énergie suffisantes pour éliminer le revêtement d'ablation par laser depuis plusieurs zones sélectionnées des surfaces principales est orienté pour une incidence sur le substrat. Le mouvement relatif entre le faisceau laser ultraviolet et le substrat réalise l'élimination de quantités suffisantes de revêtement d'ablation par laser pour exposer la pluralité de zones sélectionnées des surfaces principales opposées. Le substrat est ensuite brisé en une pluralité de barres de rangées (48 et 50), dont chacune comporte des bords latéraux (60 et 62) le long desquels sont disposées des paires en alignement spatial des zones sélectionnées des surfaces principales opposées. Un matériau conducteur d'électricité est appliqué aux bords latéraux pour former des interconnexions conductrices d'électricité (56 et 58) entre chaque paire en alignement spatial des zones sélectionnées.
Garcia Douglas J.
Goldwater Bruce Stuart
Swenson Edward J.
Electro Scientific Industries Inc.
Smart & Biggar
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1430208