B - Operations – Transporting – 81 – C
Patent
B - Operations, Transporting
81
C
B81C 1/00 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2655390
The present invention relates to a design and microfabrication method for microgrippers that are capable of grasping micro and nano objects of a large range of sizes and two-axis force sensing capabilities. Gripping motion is produced by one or more electrothermal actuators. Integrated force sensors along x and y directions enable the measurement of gripping forces as well as the forces applied at the end of microgripper arms along the normal direction, both with a resolution down to nanoNewton. The microfabrication method enables monolithic integration of the actuators and the force sensors.
La présente invention concerne un concept et un procédé de microfabrication de micro-pinces qui sont capables de saisir des micro-objets et des nano-objets dans une grande plage de tailles et disposant de fonctions de détection de force dans deux axes. Le mouvement de préhension est produit par un ou plusieurs actionneurs électrothermiques. Des capteurs de force intégrés dans les directions x et y permettent de mesurer les forces de préhension ainsi que les forces appliquées à l'extrémité des bras des micro-pinces dans la direction normale, avec une résolution de l'ordre du nanoNewton. Le procédé de microfabrication permet l'intégration monolithique des actionneurs et des détecteurs de force.
Kim Keekyoung
Sun Yu
Kim Keekyoung
Miller Thomson Llp
Sun Yu
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1430221