B - Operations – Transporting – 81 – C
Patent
B - Operations, Transporting
81
C
B81C 1/00 (2006.01) B81B 3/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
Patent
CA 2655534
A MEMS-based mano manipulator or nanopositioner is provided that can achieve both sub-nanometer resolution and millimeter force output. The nanomanipulator or nanopositioner comprises a linear amplification mechanism that minifies input displacements and amplifies input forces, microactuators that drive the amplification mechanism to generate forward and backward motion, and position sensors that measure the input displacement of the amplification mechanism. The position sensors obtain position feedback enabling precise closed-loop control during nanomanipulation.
La présente invention concerne un nano-manipulateur ou nano-positionneur à base MEMS qui peut réaliser une résolution sub-nanométrique et une sortie de force millimétrique. Le nano-manipulateur ou nano-positionneur comprend un mécanisme d'amplification linéaire qui réduit les déplacements d'entrée et amplifie les forces d'entrée, des micro-actionneurs qui entraînent le mécanisme d'amplification pour générer un mouvement vers l'avant et vers l'arrière, et des capteurs de position qui mesurent le déplacement d'entrée du mécanisme d'amplification. Les capteurs de position obtiennent un retour d'information de position qui permet une commande en boucle fermée précise au cours de la nano-manipulation.
Liu Xinyu
Sun Yu
Liu Xinyu
Miller Thomson Llp
Sun Yu
LandOfFree
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Profile ID: LFCA-PAI-O-1584078