Micro device

Details Micro device Micro device

B - Operations, Transporting

81

B

B81B 3/00 (2006.01) H01H 1/00 (2006.01) H01H 59/00 (2006.01) H01P 1/12 (2006.01)

Patent

CA 2450451

Resonators 4 and 5 are able to oscillate horizontally and vertically to substrate 1. Resonator 4 is primarily composed of a supporting portion in stationary contact with substrate 1, a movable portion including a contact surface making contact with resonator 5 and a contact surface making contact with electrode 7, and a crossing portion that couples the supporting portion and movable portion. Electrode 6 is disposed in the direction in which resonator 5 is spaced apart from resonator 4. Electrode 7 is disposed in the direction in which resonator 4 is spaced apart from resonator 5. Electrode 9 is disposed in a position that causes resonator 5 to generate electrostatic force in a direction different from the direction of both forces of attraction acting between resonators 4 and 5 and between resonator 5 and electrode 6.

L'invention concerne un microdispositif comprenant des résonateurs (4, 5) pouvant osciller horizontalement et verticalement par rapport à un substrat (1). Le premier résonateur (4) est principalement composé d'une zone de support en contact fixe avec le substrat (1), d'une zone mobile comprenant une surface de contact en contact avec le second résonateur (5) et une surface de contact en contact avec une électrode (7), et d'une zone de croisement reliant la zone de support à la zone mobile. Une électrode (6) est disposée de façon que le second résonateur (5) ne soit pas en contact avec le premier résonateur (4). Une autre électrode (7) est disposée de façon que le premier résonateur (4) ne soit pas en contact avec le second résonateur (5). L'électrode (9) est disposée de façon que le second résonateur (5) produise une force électrostatique dans une direction différente de celle des deux forces d'attraction produites entre les résonateurs (4, 5) et entre le second résonateur (5) et l'électrode (6).

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