Thermally efficient micromachined device

B - Operations – Transporting – 81 – B

Patent

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Details

B81B 1/00 (2006.01) B01F 5/06 (2006.01) B01F 13/00 (2006.01) B01J 19/00 (2006.01) B01L 3/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) C01B 3/04 (2006.01) C01B 3/32 (2006.01) C01B 3/38 (2006.01) H01M 8/00 (2006.01) H01M 8/02 (2006.01) H01M 8/04 (2006.01) H01M 8/06 (2006.01) B01J 23/46 (2006.01) B01J 35/04 (2006.01)

Patent

CA 2456672

A micromachined device (1) for efficient thermal processing at least one fluid conducting tube (5) having at least a region with wall thickness of less than 50um. The device optionally includes one or more thermally conductive structures in thermal communication with first and second thermally insulating protions of the fluid conducting tube (5). The devies also may include a thermally conductive region, and at least a portion of the fluid conducting tube (5) is disposed within the region. A plurality of structures may be provided projecting from a wall of the fluid conducting tube into an inner volume of the tube (5). The structures enhance thermal conduction between a fluid within the tube and a wall of the tube (5). A method for fabricating, from a substrate (3), a micromachined device for processing a fluid stream allows the selective removal of portions of the substrate (3) to provide desired structures integrated within the device. As an example, the micromachined device may be adapted to efficiently react fluid reactants to produce fuel for a fuel cell associated with the device, resulting in a system capable of conversion of chemical to electrical.

L'invention concerne un dispositif micro-usiné conçu pour le traitement thermique efficace d'au moins un écoulement fluidique, comprend au moins un tube d'acheminement du fluide présentant au moins une région dont l'épaisseur de la paroi est inférieure à 50µ. Le dispositif comprend éventuellement une ou plusieurs structures thermoconductrices en communication thermique avec une première et une seconde portions d'isolation thermique du tube d'acheminement du fluide. Le dispositif peut comprendre également une région thermoconductrice; au moins une portion du tube d'acheminement du fluide étant placée à l'intérieur de cette région. Une pluralité de structures peuvent être ménagées en saillie depuis une paroi du tube d'acheminement du fluide jusque dans un volume interne dudit tube. Ces structures améliore la conduction thermique entre en fluide contenu dans le tube et une paroi de ce tube. Un procédé de fabrication d'un dispositif micro-usiné à partir d'un substrat pour traiter un écoulement fluidique, permet de retirer sélectivement des portions du substrat de manière à pouvoir installer des structures souhaitées intégrées dans le dispositif. Par exemple, le dispositif micro-usiné peut être conçu pour faire réagir efficacement des réactifs fluides afin de produire du combustible pour une pile à combustible associée au dispositif, ce qui permet d'obtenir un système pouvant transformer de l'énergie chimique en énergie électrique.

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